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便携式颗粒计数器

便携式颗粒计数器

更新时间:2019-01-15

产品型号:MET ONE 3411

厂商性质:生产厂家

生产地址:

产品报价:

产品特点:MET ONE 3411 便携式颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界L先的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。

产品详情

贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式颗粒计数器

MET ONE 3411 便携式颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内zui洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
 
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基本描述

便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

- 可让您的洁净室保持洁净
 0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

- 热插拔电池-确保仪器长时间连续运行
 由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

- 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
 可在***您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

- 顺序采样系统
 可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场***解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

- 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
 供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有***软件,以便减少文书工作

- 直观的用户界面
 简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!

- 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
 专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。

 

应用领域:

专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
- 洁净室验证监测
- 洁净室的分级
- ISO14644洁净室验证
- 洁净室颗粒物监测
- 生产过程的连续监测
- 颗粒污染源的排除过程
- HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
- 过滤器扫描
- 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整
 

 

产品参数:

通道个数  6
 粒径  0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0μ
 光源  氦氖激光器
 重量  不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
 尺寸  33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
 机箱材质  便于清洗的钝化不锈钢
 流速  1.0 CFM (28.3 LPM)
 零计数  ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
 符合损失  在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
 泵的类型  可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵
 计数效率  在0.1 μm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15μm时为 100%
 运行温度  10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
 显示  ? VGA 彩色 TFT 触摸屏
 打印机  高速热敏打印机
 语言  英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
 可以显示的zui大数值  9,999,999 displayed
 延迟时间  15秒钟至23小时59分59秒
 采样/停留时间  1秒钟至23小时59分59秒
 计数警报  1~ 9,999,999 个计数值
 位置  编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
 数据存储  5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
 输出  USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
 锂电池,可充电、可热插拔  Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 输入  空气速度探头,相对湿度/温度探头
 自动 CDA 清洗  连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
 电源  24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
 电池类型  智能锂电池,可充电,可热插拔
 电池使用时间   zui短 3 小时
 电池的充电时间  电池的充电时间
 包含电池数量  2组

 


空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:
- 国际标准化组织 (ISO)
- ISO14644洁净室及相关受控环境
- ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
- 环境科学与技术研究所 (IEST)

 

 如您想了解此产品的更多信息或者需要专业人员为您解答产品性能、售后服务等专业问题,请立即加入我们。

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