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便携式颗粒计数器

便携式颗粒计数器

更新时间:2022-04-29

产品型号:MET ONE 3411

厂商性质:生产厂家

生产地址:

产品报价:

产品特点:MET ONE 3411 便携式颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界*的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。

产品详情

贝克曼库尔特MET ONE 3411便携式颗粒计数器

MET ONE 3411 便携式颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内zui洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
           

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基本描述

便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

- 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染

- 热插拔电池-确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机

- 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在***您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

- 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场***解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。

- 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有***软件,以便减少文书工作

- 直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!

- 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。


应用领域:

专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
- 洁净室验证监测
- 洁净室的分级
- ISO14644洁净室验证
- 洁净室颗粒物监测
- 生产过程的连续监测
- 颗粒污染源的排除过程
- HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
- 过滤器扫描
- 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整


产品参数:

通道个数6
粒径0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0μ
光源氦氖激光器
重量不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
尺寸33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
机箱材质便于清洗的钝化不锈钢
流速1.0 CFM (28.3 LPM)
零计数ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
符合损失在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
泵的类型可供连续使用的多瓣闭路循环控制泵
计数效率在0.1 μm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15μm时为 100%
运行温度10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
显示? VGA 彩色 TFT 触摸屏
打印机高速热敏打印机
语言英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
可以显示的zui大数值9,999,999 displayed
延迟时间15秒钟至23小时59分59秒
采样/停留时间1秒钟至23小时59分59秒
计数警报1~ 9,999,999 个计数值
位置编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
数据存储5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
输出USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
锂电池,可充电、可热插拔Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
输入空气速度探头,相对湿度/温度探头
自动 CDA 清洗连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
电源24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
电池类型智能锂电池,可充电,可热插拔
电池使用时间zui短 3 小时
电池的充电时间电池的充电时间
包含电池数量2组



空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:
- 标准化组织 (ISO)
- ISO14644洁净室及相关受控环境
- ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
- 环境科学与技术研究所 (IEST)


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